Eckelmann AG: Präzise Solarwafer-Inspektion im Sekundentakt

10.03.2009 / Archiv / Photovoltaik

Die Solarwafer-Produktion stellt hohe Ansprüche an die Qualitätskontrolle. Automatische optische Inspektion durch Machine-Vision-Systeme seien dabei von großer Bedeutung, berichtet die Eckelmann AG (Wiesbaden) in einer Pressemitteilung. Der unternehmensbereich Bildverarbeitung & Intralogistik habe ein System zur Inline-Inspektion von mono- und polykristallinen Rohwafern entwickelt, das Fehler in der Geometrie, Oberflächenfehler und Störungen in der Kristallstruktur zuverlässig erkenne. Darüber hinaus vermesse das System präzise geometrische Eigenschaften wie Kantenlängen, Eckenwinkel und Fasenlängen von quadratischen und pseudoquadratischen Silzium-Wafern. Das System ist laut Hersteller prüfmittelfähig, wobei der Nachweis der Prüfmittelfähigkeit durch vorprogrammierte Abläufe im System teilautomatisch erbracht werden könne.
„Neben Zuverlässigkeit und Präzision besticht das neue Machine-Vision-System vor allem durch die Taktzeit: Bei zwei Bildaufnahmen pro Wafer beträgt die Mess- und Auswertezeit 0,8 Sekunden“, heißt es in der Pressemitteilung. Die Transportzeiten eingerechnet könnten mit dem System bis zu 3.600 Wafer begutachtet werden.